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RT500AS高精度氣浮轉臺
產地：比利時
? 直徑500mm
? 負載830kg
? 角精度≤±1arcsec或±2.9arcsec可選
? 端跳＜100nm
? 徑跳＜50nm
產地：比利時
? 直徑500mm
? 負載830kg
? 角精度≤±1arcsec或±2.9arcsec可選
? 端跳＜100nm
? 徑跳＜50nm
RT500AS具有超高的速度穩(wěn)定性，臺面直徑500mm，負載高達830Kg，端跳小于100nm，徑跳小于50nm，是您尋找的具有卓越的運動性能、高剛度和高承載能力的旋轉空氣軸承平臺的首選！RT-S系列的設計包含頂級空氣軸承，電機和編碼器，可實現出色的角度定位和速度穩(wěn)定性。高分辨率編碼器系統(tǒng)可實現最終穩(wěn)定的定位和速度跟蹤。大通孔便于滑環(huán)集成，光學或其他饋通。
應用領域：
? 計算機斷層掃描
? X-射線
? 超精密加工
? 激光加工
? 光學檢查
? 半導體應用
? 醫(yī)療行業(yè)的測試系統(tǒng)
? 用于尺寸測量系統(tǒng)的運動軸
? 慣性導航
? 精密重力測量
產品規(guī)格
Rotary Stage RT500AS | |
Max. axial load 最大軸負載 | 830Kg |
Max. radial load 最大側向負載 | 257Kg |
Axial stiffness 軸剛性 | 1660 N/μm |
Radial stiffness 側向剛性 | 514 N/μm |
Tilt stiffness 搖擺剛性 | 37,4 Nm/μrad |
Radial error motion 端跳誤差 | < 100 nm LSC |
Axial error motion 軸誤差 | < 50 nm LSC |
Resolution分辨率 | <0.1arcsec，取決于細分比（4× ~ 20000×） |
Repeatability重復精度 | <0.5 arcsec 或者2倍分辨率 |
Air consumption 耗氣量 | < 100 Nl/min |
Total mass 重量 | 175 kg |
Encoder 編碼器 | 47200 periods |
Nominal torque 標稱扭矩 | 3,0 Nm |
Peak torque 峰值扭矩 | 9,0 Nm |
Max. speed 最大速度 | 60 rpm |
Angular accuracy 角精度 | ±1arcsec或±2,9 arcsec可選 |
Material 材料 | stainless steel |
產品尺寸
運動控制
該旋轉臺可配備運動驅動器和軟件。該軟件提供易于編程的定位循環(huán)，自動歸位程序以及與機器接口的通信。集成了壓力供應失敗時產生安全停止的緊急程序。此外，圖形用戶界面將設置時間降至最低。
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